現在実用化されているランプのほとんどは図２に示したような二重円筒型である。大きな管径の石英の外管とその中に同軸に挿入した内管の両端を閉じてドーナツ状の放電空間を形成し、内管の内面と外管の外面に電極を設けて点灯する。
距離が非常に短くなければ、真空紫外光は非照射物まで到達しない。通常は3mm程度以下にする。しかし、ランプの外形は25mm程度あるので、それでも大気中に吸収される光は多い。そこで図4のように石英の窓を付けた灯具にランプを入れ、灯具内を窒素などの真空紫外光を吸収しないガスで満たす方法が広く使用されている。石英窓と非照射面の間は3mm程度で大気中である。
この方法は非照射物に到達する紫外線量は確かに増すが、欠点もある。それは高価な石英の板を使用することである。しかも、石英の板は真空紫外光により劣化するため、石英の真空紫外光の透過率が低下し、一定の使用時間ごとに交換しないと破損する恐れもある。即ちランニングコストにも響いてくる。
そのため最近では石英窓を使用しない方法が増えてきている。
石英窓を使用しないで真空紫外光をより有効に使用する方法として、ランプの周りに窒素を流す方法がある。幸いにして、必要な量のオゾンを作るためには酸素の量は大気中よりかなり少ない量で十分である。わずかな酸素量が維持出来れば良いわけで、この方法なら十分な照度も得られる。