エム・ディ・コムのエキシマ装置
主な用途
・ガラス・フィルム・ウエハ・フォトマスクの洗浄・表面改質
　液晶基板・ITO・ポリイミド・PET等の洗浄・改質
　膜付・塗布・塗装前の密着性の向上
　CVD・コータ・スプレー・エッチング前処理
　レジスト残渣・有機物のアッシング
・フィルム・ガラス・樹脂等の張り合わせ
　表面活性　張り合わせ前処理　密着・接着性向上
　樹脂同士のノリ無・接着剤無接合
　PET/PET，PMMA/PMMA，シリコーンゴム等ノリ無し接合　μTAS等