エムディコムのエキシマランプの特徴

エキシマランプの主な特徴を上げると下記のようなことが考えられる。
a)ランプの効率が高い
放射が一つの波長に集中し、必要な
光以外がほとんど放射されないので、効率が高い。
b)低温で処理が出来る
余分な光が放射されないので、ワーク
の温度を低く保つことが出来る。
c)瞬時の点灯・点滅が可能
始動・再始動に時間を要さないので、瞬時の点灯点滅が可能である。
d)真空紫外の光源として最適
希ガスエキシマランプは100nm台の真空紫外光源として最適である。
e)豊富な種類の波長の光源が可能
希ガス・ハロゲンガス・水銀などを組み合わせると100〜500nmの間で、ほとんど20〜30nmの間隔で単色光に近い光源が得られる。