| エム・ディ・コムについて |
技術は絶えず磨き続けなければならない。
エム・ディ・コムは自社開発のエキシマランプと高出力RF電源によって
圧倒的高照度、高信頼性のエキシマランプを提供いたします。
| エム・ディ・コム製エキシマランプの特徴 |
◎エム・ディ・コムのエキシマランプは丸型二重管構造です。
◎エム・ディ・コムのエキシマランプには照射面に電極が存在しません。
◎エム・ディ・コムのエキシマランプは電圧による照度コントロールが可能です。
◎エム・ディ・コムのエキシマランプに標準長はありません。お客様のニーズに合わせて1㎝ごとに製作いたします。
安価で効率の良いランプとは？
| エキシマランプの研究開発 エム・ティ・コムでは様々なランプの製作と実験を行ってきました。 |
| ●管径の拡大によるコストの増加
まず初めに、我々はランプ管の径を大きくすることによって照射面積が広がり、積算光量の増加、すなわち、より多くの光を照射できると考えました。 しかし、ランプ材料のコストが上がる割には、大きな積算光量の増加は得られませんでした。 ●平面エキシマランプについて 平面ランプは、照射面（ランプ下面）に針金、格子状あるいはメッシュ状のマイナス電極を必要とします。マイナス電極の面積が大きいほど強く放電し多くの光を得ることが可能ですが、マイナス電極自体が障害となり光を遮ることとなるので、試料面に到達する光は大きく減衰します。 また、電極は酸化・劣化・剥離し、コンタミネーションの原因となることがあります。そこで、酸化・劣化・剥離を防ぐために、通常は電極をコーティングすることになります しかし、紫外線はそのコーティング材を透過することができないので、期待ほどの積算光量の増加は見込めませんでした。 ●石英ガラスの窓について ランプを石英ガラスの窓で覆ってしまうと、光源が対象物より離れるため到達照度の減少につながります。また、石英ガラス窓は寿命による交換を必要とするので、ランニングコストを増加させます。 ●結論 ランプコスト、ランプ品質、ランプ性能、コンタミネーション等を考慮すると、丸型φ25の二重管ランプがお客様にベストパフォーマンスを提供できる製品だと考えます。 |
それらを可能にするのがエム・ディ・コムのランプホルダーです。
| ランプホルダー：【無電極照射ユニット構造PAT】 |
エム・ディ・コムの無電極照射ユニットは、ランプホルダー自体が外部電極の役割を果たすため、ランプの照射面側に必要であったメッシュや格子状電極を除去。
また、ホルダーに刻まれたスリットを通して窒素や混合ガスを噴射することにより、少量のN2や混合ガスでランプ―試料間の雰囲気制御を可能にしました。
