| スタンドアローン/ステージ搬送式 |
| MEIR-Mシリーズ 据置型ステージ搬送エキシマ照射ユニット |
| MEIRA-M-1-330 | MEIR-M-1-600 | MEIR-M-4-750 |
MEIR-Mシリーズはステージ搬送機能を持った据置タイプの照射装置です。
実験機としてLaboに設置したり、工場の生産オフラインとして設置することも可能です。
ステージサイズ、ランプ本数など、お客様の生産仕様によってカスタマイズできます。
N2/CDA冷却水流量計を搭載し、生産管理や実験時の条件だしに役立ちます。
また、排気ブロアー＆オゾンフィルターを搭載、工場へ高濃度のオゾン排気を必要としません。
参考仕様 Specifications
| ランプ | Xe (キセノン) エキシマランプ *1 |
| 波長 | 172nm *1 |
| ランプ搭載数 | 1本からのカスタム設計 *2 |
| 有効発光長 | 300mm～700mm *2 |
| 照度 ………… 標準 | 70 mW/c㎡ 以上 (大気中・管面照度) *3 |
| 照度 ………… 高照度 | 120 mW/c㎡ 以上 (大気中・管面照度) *3 |
| 照度 ………… 内管水冷高照度 | 170 mW/c㎡ 以上 (大気中・管面照度) *3 |
| 照度均一性 | ±10%以内 |
| ステージ寸法 | 700X700mm 以内 |
| 照射距離調整機能 | 2㎜～25㎜ |
| 処理速度 | 0.1～5m/min (タッチパネルより設定） |
| N2流量計 | 有り （最大流量はランプ本数に応じて） |
| CDA流量計 | 有り （最大流量はランプ本数に応じて） |
| 冷却水流量計 | 有り （最大流量はランプ本数に応じて） |
| 排気設備 | 排気ブロアー＆オゾンフィルター搭載 |
| オゾンリークモニター | オプション |
| ■ Note *1 ランプ本数、有効長、照射装置サイズ：カスタマイズ対応 *2 ランプ本数、有効長、照射装置サイズ：カスタマイズ対応 *3 大気中管面測定、点灯直後（照度計C9536/H9535-172にて測定） |
