| ローラー照射型 |
| MEUT-Rシリーズ ロール設置型エキシマ照射ユニット |
| MEUT-R |
MEUT-Rシリーズはロール to ロール設備のバックロールなどに設置するタイプの照射装置です。
ロールサイズによってランプ本数をカスタマイズできます。
N2/CDA冷却水流量計を搭載しており、生産管理や実験時の条件だしに役立ちます。
参考仕様 Specifications
| ランプ | Xe (キセノン) エキシマランプ *1 |
| 波長 | 172nm |
| ランプ搭載数 | 1本からのカスタム設計 *1 |
| 有効発光長 | 300mm～1000mm *1 |
| 照度 ………… 標準 | 70 mW/c㎡ 以上 (大気中・管面照度) *2 |
| 照度 ………… 高照度 | 120 mW/c㎡ 以上 (大気中・管面照度) *2 |
| 照度均一性 | ±10%以内 |
| 試料サイズ | 300mm～ |
| 対応ロール | Φ300～ |
| 照射距離調整機能 | 2㎜～25㎜ |
| N2流量計 | 有り （最大流量はランプ本数に応じて） |
| CDA流量計 | 有り （最大流量はランプ本数に応じて） |
| 冷却水流量計 | 有り （最大流量はランプ本数に応じて） |
| 排気設備 | オプション |
| 酸素濃度計 | オプション |
| オゾンリークモニター | オプション |
| ■ Note *1 ランプ本数、有効長、照射装置サイズ：カスタマイズ対応 *2 大気中管面測定、点灯直後（照度計C9536/H9535-172にて測定） |
