| 貸出用デモ機のご案内 |
サンプル評価テスト
御社設備へ組み込んでの評価、照射後すぐに後処理が必要な場合など、貸出用デモ機をご利用ください。
設備設置型照射ユニット・試料照射室付き・試料搬送機能付き等、各種エキシマ照射機をご用意しております。
弊社エキシマランプの性能を是非お試しください。
カタログデータでは現れない実力がお分かりいただけます。
| デモ機一覧 | |
| MEIRH-M-1-152-H | 超高照度エキシマランプ搭載・試料温調搬送機能付きエキシマ照射装置。スキャン照射（試料搬送式）、バッチ照射、搬送速度・搬送回数設定可能、窒素置換・酸素濃度制御、最大150℃までの試料加熱等、様々なエキシマ光改質実験が行えるマルチなエキシマ照射装置です。 |
| MEIRA-M-1-152-H2 | 空冷電源一体型 試料温調搬送機能付きエキシマ照射装置。スキャン照射（試料搬送式）、バッチ照射、搬送速度・搬送回数設定可能、窒素置換・酸素濃度制御、最大150℃までの試料加熱等、様々なエキシマ光改質実験が行えるマルチなエキシマ照射装置です。空冷 / ノーマルパワー（管面照度70mW/cm以上） |
| MECL01U-1 | 空冷電源一体型 バッチ式エキシマ照射装置。空冷式なので、家庭用AC100Vの電源のみでエキシマ照射実験が可能です。 |
| MEUT-1-330 | 照射室の附属しない照射ユニット。御社生産ラインへ直接設置しての評価や、御社にて照射室をご用意可能な場合に最適なエキシマ照射ユニットです。 |
| その他 | |
| オゾンフィルター | オゾンフィルター及び排気ポンプの貸し出しも一緒に行っております。 |
| システム概要
■ 波長 : 172nm ■ 照射エリア及び温調可能エリア（試料サイズ） : 152mm□ 6INCH□ t=15mm（最大） ■ ランプ灯数 : 1灯 ■ 照度（冷却方式）: 高照度タイプ（水冷式）120mW/c㎡ 、標準照度タイプ（空冷式）70mW/c㎡ 。 ボリュームによる照度調整可能（約60～100%） ■ 照射方式 : 試料搬送式（スキャン照射式）、バッチ照射式（試料固定） ■ 雰囲気 : 酸素濃度制御（最適値酸素1%）及び窒素置換可（O2 100ppm以下）、大気 ■ 試料温調 : 常温～最大150℃ ■ 照射距離 : 推奨2mm～5mm（可変機構付）、ランプ管面～ステージ 2mm～17mm ■ 搬送速度 : 0.5mm/sec～60mm/sec ■ 導入ガス : 窒素、CDAまたは酸素。6mmワンタッチ継手IN 2個 ■ 冷却水 : 水冷仕様（照度120mW/cm2） 流量2L/min、圧力0.3Mpa。接続 1/4φ スウェッジロック IN/OUT ■ 外形寸法 : 600(W) x 516(D) x 348(H) mm、開口時奥行613mm 高さ654mm ■ 電源 : AC100V 50/60Hz 1kVA |
| システム概要
■ 波長 : 172nm ■ 照射エリア（試料サイズ : 152mm□ t=15mm（最大） ■ ランプ灯数 : 1灯 ■ 照度 : 70mW/c㎡ （タッチパネルより照度調整可能） ■ 照射方式 : 試料搬送式（スキャン照射式）、バッチ照射式（試料固定） ■ 雰囲気 : 窒素、大気、酸素濃度制御 ■ 試料温調 : 常温～最大150℃ ■ 導入ガス : 窒素、CDAまたは酸素。6mmワンタッチ継手IN ■ 冷方式水 : 強制空冷 ■ 外形寸法 : 600(W) x 516(D) x 348(H) mm ■ 電源 : AC100V 50/60Hz 1kVA |
| システム概要
■ 波長 : 172nm、222nm ■ 照射エリア（試料サイズ） : 140mm x 10～30mm程度（172nm） ■ ランプ灯数 : 1灯 ■ 照度：70mW/c㎡ (172nm、空冷式) 、 70mW/c㎡ (222nm、水冷式) ■ 温調機能 : 100℃温調ヒーター（ヒーター厚 15.5mm ※222nmのみ可） ■ 導入ガス : 窒素、CDAまたは酸素。6mmワンタッチ継手IN x1個 ■ 冷方式水 : 強制空冷 ■ 水冷仕様 (222nmのみ) : 流量2L/min、圧力0.3Mpa、1/4φ スウェッジロック ■ 照射室内寸法 : 335(W) x 155(D) x 43.5(H) mm (※172nm)、335(W) x 155(D) x 73.5(H) mm (※222nm) サンプル厚により高さ調整用スペーサーをご用意ください。 ■ 外形寸法 : 460(W) x 280(D) x 305(H) mm、開口時 460(W) x 340(D) x 463(H) mm ■ 電源 : AC100V 0.6kVA（空冷式）、AC200V（水冷式） |
| システム概要
■ 波長 : 172nm ■ ランプ有効長 : 330mm ■ ランプ灯数 : 1灯 ■ 照度: 70mW/c㎡ ボリュームによる照度調整可能 ■ 導入ガス : 窒素、CDAまたは酸素。6mmワンタッチ継手IN 1個 ■ 冷方式水 : 水冷式 ■ 冷却水 : 流量2L/min、圧力0.3Mpa。接続 1/4φ スウェッジロック IN/OUT ■ 外形寸法 : 620(W) x 225(D) x 260(H) mm ■ 電源 : AC100V～220V 0.6kVA |
