ランプユニット/コンベア搬送式 |
MEUTシリーズ ライン設置型エキシマ照射ユニット |
MEUT-1-330 | MEUT-1-1400 | MEUT-3-500 |
MEUTHW-9-330 | MEUTH-3W-3000 |
シンプルイズベスト
MEUTシリーズの機構はとてもシンプルです。
工場の生産ラインに合わせてカスタマイズできることはもちろん、
据置型をはじめ、あらゆるモデルの照射部にかたちを変えます。
参考仕様 Specifications
ランプ | Xe (キセノン) エキシマランプ *1 |
波長 | 172nm *1 |
ランプ搭載数 | 1本からのカスタム設計 *2 |
有効発光長 | 150mm〜2500mm |
照度 ………… 標準 | 70 mW/cu 以上 *4 |
照度 ………… 高照度 | 120 mW/cu 以上 *4 |
照度 ………… 内管水冷高照度 | 170 mW/cu 以上 *4 |
照度均一性 | ±10%以内 |
ラインナップ | |
MEUT | 標準照度(70mW/cm2)、 水冷方式(電源&ランプホルダー) |
MEUTA | 標準照度(70mW/cm2)、 空冷方式 |
MEUTH | 高照度(120mW/cm2)、 水冷方式(電源&ランプホルダー) |
MEUTW | 大面積一括照射装置(石英窓付) |
MEUTH-WC | 内管水冷高照度(170mW/cm2) 水冷方式(電源&ランプホルダー、内管電極) *5 |
■ Note *1 波長オプション : 222nm *2 ランプ本数、有効長、照射装置サイズ:カスタマイズ対応 *3 ランプ有効長10o刻みでのカスタマイズ対応。有効長1700o以上は2本のランプを千鳥配置にして対応 *4 大気中管面測定、点灯直後(照度計C9536/H9535-172にて測定) *5 内管冷却には純水が必要になります(1本あたり1L/min) |