| 製品情報 |
我々の製品は一つとして同じものはありません。なぜなら、お客様のニーズはすべて違うから。
| 生産用 エキシマ照射装置 |
MEUTシリーズ
ランプユニット/コンベア設置式
主な使用用途
ガラス・フィルム・ウエハ・フォトマスク等の洗浄・表面改質
CVD・コータ・スプレー前処理 レジスト残渣・有機物のアッシング
MEIR-Mシリーズ
スタンドアローン / ステージ搬送式
主な使用用途
ガラス・フィルム・樹脂・金属等の張り合せ 張り合せ前処理
ガラス・フィルム・ウエハ・フォトマスク等の洗浄・表面改質
MEIR-FRシリーズ
ロールtoロール設置タイプ
主な使用用途
バリアフィルム・ハードコート膜・インク・樹脂の硬化
樹脂、金属フィルムの洗浄 表面改質
MEIR-Rシリーズ
バックロール照射タイプ
主な使用用途
バリアフィルム・ハードコート膜・インク・樹脂の硬化
樹脂、金属フィルムの洗浄 表面改質
処理ガス導入機能/排気設備を含む搬送装置/照射室のみの設計製作も承っております。
既存のランプユニットに搬送機能や照射室などを設置したいとお考えの方、
お気軽にお問い合わせください。
| 研究開発用エキシマ照射装置 |
MEIR-Sシリーズ
バッチ照射タイプ（照射室付）
主な使用用途
シリコン/金属ローラー表面処理
レジスト残渣・有機物のアッシング 酸化膜の生成
MEIR-MSシリーズ
小型卓上スキャン式（試料搬送式
主な使用用途
バリアフィルムのハードコート硬質化処理
ガラス・フィルム・樹脂・金属等の洗浄、表面改質、張り合せ前処理
MECL-02Uシリーズ
簡易実験装置
主な使用用途
ガラス・フィルム・ウエハ等の洗浄・表面改質
25mm□以内の試料照射実験
MEHDシリーズ
ハンディタイプ照射装置
主な使用用途
ガラス・フィルム・ウエハ等の洗浄・表面改質
25mm□以内の試料照射実験 オゾン発生装置用途
