| スキャン式（試料搬送式） |
| MEIR-MSシリーズ 研究開発用搬送式エキシマ照射装置 |
| MEIRA-MS-1-152-H3 | MEIRA-MS-1-300 |
小型高性能スキャン照射
MEIR-MSシリーズはステージ搬送機能を持った卓上タイプのエキシマ照射装置です。
バリアフィルム生成になどに必要な低酸素濃度到達可能チャンバーや研究開発用途に
必要な機能をほぼ備えており、より高精度な実験が可能です。
参考仕様 Specifications
| ランプ | Xe (キセノン) エキシマランプ *1 |
| 波長 | 172nm |
| ランプ搭載数 | 1本からのカスタム設計 *1 |
| 有効発光長 | 150mm～300mm |
| 照度 ………… 標準 | 70 mW/c㎡ 以上 (大気中・管面照度) *2 |
| 照度 ………… 高照度 | 120 mW/c㎡ 以上 (大気中・管面照度) *2 |
| 照度 ………… 内管水冷高照度 | 170 mW/c㎡ 以上 (大気中・管面照度) *2 |
| 照度均一性 | ±10%以内 |
| ステージ寸法 | 300mm□ 以内 |
| 照射距離調整機能 | 2㎜～20㎜ |
| 処理速度 | 0.1～5m/min (タッチパネルより設定） |
| N2流量計 | 有り （最大流量はランプ本数に応じて） |
| CDA流量計 | 有り （最大流量はランプ本数に応じて） |
| 冷却水流量計 | 有り （最大流量はランプ本数に応じて） |
| 排気設備 | 排気ブロアー＆オゾンフィルター搭載 |
| オゾンリークモニター | オプション |
| ■ Note *1 ランプ本数、有効長、照射装置サイズ：カスタマイズ対応 *2 大気中管面測定、点灯直後（照度計C9536/H9535-172にて測定） |
