| 実験設備ご利用のご案内 |
サンプルをお持ちください。
弊社クリーンルーム（クラス10,000）内にエキシマ照射実験設備をご用意しております。
サンプルをお持ちいただき立会いによる実験、お客様よりサンプルをお預かりしての弊社スタッフによる照射実験を随時実施しております。
最も高効率かつ効果的なエキシマ処理方法をご提案いたします。
実験効果については、接触角計による照射前・照射後の測定によって実感いただけます。
スピンコーター・オーブン等の各種実験機器も持込みいただけます。
弊社エキシマランプの性能を是非お試しください。
カタログデータでは現れない実力がお分かりいただけます。
| エキシマ照射実験機 スキャン式スタンドアローン型エキシマ照射機 |
| システム概要
■ 波長 : 172nm ■ 光有効長 : 600mm ■ 照射エリア : 600 x 700mm、t=25mm（最大） ■ ランプ灯数 : 5灯（※1～5番の任意ランプ点灯可能） ■ 照度 : 50mW/c㎡ 以上 ■ 照射方式 : 試料搬送式（スキャン照射式）、バッチ照射式（試料固定） ■ 雰囲気 : 酸素濃度制御（最適値 : 酸素1%）、窒素、CDA、大気 ■ 照射距離 : 2mm（推奨）～5mm （※可変機構付）、ランプ管面からステージ 0.5mm～30mm ■ 搬送速度 : 50mm/min～580mm/min（※バッチ照射時 : 8.7mm/sec～96.8mm/sec） ■ 冷却方式 : 水冷式 |
| その他の実験について |
ご相談ください。
真空対応エキシマ照射装置、各波長のエキシマランプ（191、222、308nm等）のほか、
400℃昇温実験、N2パージ実験。
どうぞお気軽にご相談ください。
弊社スタッフ一同、心よりお待ち申し上げます。
| MEUTV-2-260 真空対応エキシマ照射装置 |
