エキシマVUV照射ユニット、エキシマランプを低コストに高照度でカスタム制作するエムディコム（MDCOM）

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2015.11.11
テスト投稿です。

エキシマランプの実用例
エムディコムのエキシマランプ現在実用化されているエキシマランプは真空紫外光の用途が主で、そのうちでもキセノンエキシマランプの172nmがほとんどで、その際発生するオゾンと併用される場合が多い。その用途は多岐にわたり、ガラス基板等の表面に付着した有機物等を除去する光洗浄や、リソグラフィーのレジストのアッシング、シリコンゴムやフッ素樹脂の表面改質、光CVDによるSiO２膜の作成などがある。ここでは一例として広く行なわれているガラス板の表面の光洗浄について、接触角による評価結果を図８に示す。ランプとしては172nmのキセノンエキシマランプを用い、185nmを出す低圧水銀ランプの結果と比較して示す。エキシマランプは約15秒の照射で接触角がほとんどゼロに成るが、低圧水銀ランプでは220秒掛かっている。
2016/01/06

真空紫外光源としてのエキシマランプ
・エムディコムのエキシマランプ従来の光源ではレーザなどの高価な装置を除き、真空紫外領域に強い発光が得られるものが無かった。図1に示したようにエキシマランプには200nm以下の真空紫外領域に発光するものが幾つかある。中でもキセノンのエキシマランプは石英を透過する172nm前後の光を強力に発光する為、石英を使うことによりランプの製造が比較的容易になる。このような理由から、現在最も多く使用されているエキシマランプはキセノンエキシマランプである。しかし、真空紫外を扱うには幾つかの重要なことがある。第一はこの領域はSchumann-Runge帯と呼ばれる非常に強い酸素の吸収があることである。図２に大気中の172nmの直線透過率を示す。7mm程度で1/10になる。第二は光を吸収した酸素は分解し、オゾンを形成する。大気中でランプを使用する場合はこのことを十分考慮する必要がある。オゾンは人体に有害である。従って、居所排気等が必要になる。しかし、光洗浄の場合は有機物を分解するには真空紫外光とオゾンの両方が必要と考えられている。従って、酸素を完全に除去するわけにはいかない。
2016/01/06